高纯合成石英的制备技术和应用
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1.中国恩菲工程技术有限公司, 北京 100038 ; 2.洛阳中硅高科技有限公司, 河南 洛阳 471023

作者简介:

李爱民(1963-),男,甘肃武威人,大学本科,高级工程师,主要从事硅基材料的工艺设计及研发工作。

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中图分类号:

TM28

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Preparation Technology and Application of High Purity Synthetic Quartz
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    摘要:

    高纯石英是石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在高新技术产业中具有极大地利用价值和不可取代的地位。随着天然水晶资源的持续减少,高纯合成石英的研究逐渐受到重视。本文全面地介绍了高纯石英的特性、合成制备技术及其研究现状,另外阐述了高纯合成石英的重要应用。认为采用多晶硅生产副产物SiCl4的液相水解法以制备高纯石英是一种符合可持续发展要求且具有潜在生产价值的技术方法。

    Abstract:

    High purity quartz is an important raw material for the production of quartz glass and integrated circuit board, which is of great value and irreplaceable in the high-tech industry. With the continuous decrease of natural crystal resources, the research on high purity synthetic quartz has gaining more and more attention. This paper introduces the characteristics, synthesis technology and research status of high purity quartz in a comprehensive manner, besides, the important applications of high purity synthetic quartz are given in this paper. It is considered that the preparation of high purity quartz by liquid hydrolysis of SiCl4, a by-product of polycrystalline silicon production, is a technology that meets the requirements of sustainable development and has potential production value.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

李爱民,万烨,常欣,等.高纯合成石英的制备技术和应用[J].有色设备,2021,35(6):62-65.

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  • 收稿日期:2021-09-12
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  • 在线发布日期: 2025-11-25
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