四氯化硅综合利用现状及发展趋势
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作者:
作者单位:

1.中国恩菲工程技术有限公司, 北京 100038 ;2.洛阳中硅高科技有限公司, 河南 洛阳 471023

作者简介:

李爱民(1963—),男,甘肃武威人,本科,高级工程师,主要从事硅基材料的工艺设计及研发工作。

通讯作者:

中图分类号:

TQ116

基金项目:

工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)


Present Situation and Development Trend of Comprehensive Utilization of SiCl4
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    摘要:

    介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,从原理、工艺优缺点、存在问题、改进方向等方面介绍了四氯化硅制备气相白炭黑、硅酸乙酯、光纤预制棒及三氯氢硅的应用,重点介绍了四氯化硅氢化技术的最新进展,指出了氢化技术上的难题,并提出解决建议,为国内多晶硅技术开发提供了方向和指导。

    Abstract:

    This paper introduced the comprehensive utilization technology of SiCl4, a byproduct from polysilicon production by Siemens process, and its status quo. Specifically, this paper elaborated on how SiCl4 is used to produce fumed silica, ethyl silicate, optical fiber and trichlorosilane from aspects of principles, strengths and shortcomings, issues and improvement, focused on the latest progress in SiCl4 hydrogenation technology, and put forth suggestions and solutions to difficulties in hydrogenation, pointing out the direction and providing guidance for polysilicon technology development in China.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

李爱民,郭树虎,袁振军,等.四氯化硅综合利用现状及发展趋势[J].有色冶金节能,2021,37(6):64-67.

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  • 收稿日期:2021-10-25
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  • 在线发布日期: 2025-11-27
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